硅红外滤光片的特点

2013-11-04 admin1

　　硅红外滤光片旨在降低直拉硅单晶氧含量，提高硅红外滤光片透过率的硅片热处理工艺。其特征是将硅片在400-1000℃温度间的四段温区逐步升温并保温适当时间并在硅片冷却至850℃以下时取出，处理后的直拉硅单晶片在9um处的透过率接近或达到区熔硅单晶的水平，用热处理后的廉价直拉硅单晶片制造的红外滤光片，可满足红外仪器设备所需红外滤光片的要求，大大降低了滤光片的成本。

　　硅红外滤光片的热正确处工院艺，是指硅片的切、磨、打磨抛光和腐蚀不锈钢冲洗及热正确治理 用熔融石英炉管的HCl正确治理 ，它的显著特点举例说明：1.在炉温不超400℃时，置入硅片，2.将炉温度至400-550℃，保热层层隔热10-30小;然后呢变多至700-800℃，保热层层隔热10-30小，再变多至800-900℃，保热层层隔热2-5小，最终变多至900-1000℃，保热层层隔热2-5小，3.在炉温降下来850℃以内时，拿出来硅片。