什么是陪镀片？它对滤光片的测试有哪些作用？

2025-04-02 派大星

在滤光片的加工过程中，由于部分滤光片成本的高昂性，在滤光片薄膜制备过程中，我们会将一类辅助基片与制备目标基片（如滤光片）一共放进镀膜机内进行镀膜，通常这类辅助基片为小尺寸的玻璃、硅片或其他材料，其核心作用是实时监控镀膜工艺参数（如膜层厚度、折射率），确保目标滤光片的性能符合设计要求，这类辅助基片就是陪镀片（Monitor Chip 或 Witness Sample）

 

一、陪镀片的关键使用在滤光片产生和测验中，陪镀片添加一些的作用，如工艺设备监控器、均衡性查证、机械性能校正、就失效分析一下等。1.方法追踪按照估测方法陪镀片上的膜层的厚度和光学薄膜常数（弯折率、消光比率），相互表现阶段目标滤光片的玻璃镀膜质理，以防随便估测方法滤光片时已经导致的的伤害或弄脏。  2. 陪镀片与滤光片在渡膜机内在不同位置上或相对性数据分布，搞定相比两种的膜厚差别的，考评渡膜机的空間平滑性，关键在于搞定安全验证。3. 特点校秤则是采用陪镀片的测验数据资料（如电子散射率、反射强度率曲线拟合）效准镀一层薄薄的膜机械设备的指标，推广险遭加工批次线的不对性。  4. 造成滤光片能不标准的就失效剖析，可使用剖析陪镀片的膜层格局（如SEM、椭偏仪数据分析）产品追溯工艺设备现象（如膜层扯力、不足）。  

 

（图源网络分享）

三、陪镀片在滤光片测式中的具体实施APP1. 光谱图功效测试仪电子散射率/漫反射率測量：陪镀片与滤光片同时进行电镀后，用分光光度计测试英文其光谱仪申请这类卡种曲线提额，验正膜系构思是否是确保（如带通滤光片的机构激发光谱、截止期陡度）。例举：若陪镀片的电子散射谷值激发光谱偏斜构思值5nm，则指标滤光片已经需变动电镀时候或效率。  2. 膜厚把控经由椭偏仪或台价仪測量陪镀片的膜厚，计算方法滤光片的实践膜厚（如1/4光波长光学材料板厚为操控）。  关键问题点：陪镀片与滤光片的基低资料需同步，尽量避免因热彭胀数值异同导致膜厚测量误差。  3. 区域环境稳定量分析性测试图片将陪镀片与滤光片一块儿开展中高温高湿老化测试测试测试，比照老化测试测试后光谱分析变现，开展膜层耐久力性。  4. 生产的一直性服务在大量量工作中，每院校代号抽出陪镀片检验，确认各种不同院校代号滤光片的使用性能动荡在允许的範圍内（如主光谱差值±1nm）。  

 

四、陪镀片的的选择与分离纯化符合要求  

数据	特殊要求
涂料	与滤光片基低共同（如BK7波璃、熔融石英石）或高溶解度硅片（用作椭偏仪进行分析）
尽寸	常常为10×10mm至25×25mm，需适用测试软件测量仪器车床夹具
表面层水平	磨光面越来越粗糙度＜1nm，不要会影响膜层的生长和侧量可靠性强，精密度
放在职位	紧挨要求滤光片或镀膜等等机匀性把控点，保持新工艺條件不一

五、陪镀片与滤光片软件测试的连接案例分享案例分享1：带通滤光片的中心点光的波长进行校正困难：某红托运通滤光片测评管理中心主波长为780nm，偏斜定制的800nm。  深入分析：查陪镀片的椭偏仪数据分析，出现 SiO₂膜层机的薄厚比构思值薄8%。  防止：调准镀晶机的蒸发器时延，廷长镀晶时光，险遭批号可见光波长及格。   例案2：膜层支承力不能正常工作情况：滤光片表面诞生脱膜。  疾病诊断：陪镀片的SEM显现膜层-基低接面都存在污染源，追述至渡膜前洗涤不彻底删除文件。  

 

六、陪镀片的随意性性1. 举例说明性：陪镀片数值仅能举例说明表示滤光片使用性能，若汽车镀膜机匀称性能差，这两者已经会有误差。  2. 小尺码受限制：大尺码滤光片（如＞200mm）需精确移动到陪镀片，提高成本低。  3. 动态展示的工艺监察严重不足：传统艺术陪镀片是无法城市热力图反馈系统电镀过程中 中的基本参数浮动（需根据晶控仪等在线平台数据监测）。   七、未来的走势走势1. 自动化陪镀片：集成式感应器器（如光纤线光栅），实时的传导膜厚和地应力大数据。  2. 模拟陪镀片：经由汽车镀膜机模拟仿真图片软件分析预测膜层效能，提高产品陪镀片的适用。  3. 标准规范化参数库：组建陪镀片测试图片参数与滤光片功能的相互影响模板，不断提升生产技术优化提升生产率。   陪镀片是滤光片开发中的“工序树影”，虽不会组织光学反应元件机系统的工作，都是有保障滤光片性能参数共同性和性能性的最为关键的重要环节。从实践室研发管理到工业企业化工作，其精益求精化选用将继续推动了光学反应元件pet薄膜水平的进展。